高温大压力传感器研究现状
一般地，当压力范围在10～100 MPa之间时，称之为大压力，大于100 MPa的压力为超大压力。高温压力传感器是指在高于125℃环境下能正常工作的压力传感器[1]。
近年来，随着MEMS技术的发展，微机械压力传感器由于其具有体积小、功耗低、成本低等优势，而得到了广泛的应用[1，2]。然而，该类传感器在超过120℃环境下使用时，VPRQ-A5-10KS-4压力传感器，会由于内部PN结出现漏电而导致传感器性能急剧下降，进而导致失效[3，4，5，6]。因此，如何把MEMS技术的优势和现有的技术相结合，通过改进工艺、选择新型的耐高温材料，进而克服MEMS传感器的上述缺点，成为目前国内外研究的重中之重。该研究目前也取得了巨大进展，多种类型材料组合形成的新型敏感元件纷纷问世。
压力传感器的工作原理
由于自动化技术的发展，工业设备中常用的压力传感器，除了液柱、弹性压力表之外，一般都采用了压力变送器和传感装置，这些传感装置可以把压力转化为电信号。压力器是一种把压力转换成电信号输出的传感器。一般情况下，传感器分为感光元件和变频器两部分。
感光元件可以直接感觉或反应被测得的部分；它是指感光元件中感觉或反应的被测应变，转化为适合传送或测量的电子信号部分。因为传感器的输出信号通常很弱，需要对其进行调制和放大。集成化技术的发展，促使人们再次把这部分电路和电源等电路装入传感器内部。
通过这种方式，传感器能够输出易于处理、可传输的信号。而在技术相对落后的阶段，所谓的传感元件，即传感元件，即传感传感元件。通常来说，压力传感器是指将变化的压力信号转化为敏感元件，相应地改变电阻信号或电容信号。
例如：压阻器、压容元件等。与此同时，压力传感器种类繁多，如应变阻器的电阻、半导体应变压片、压阻压力传感器、电感压力传感器、电容压力传感器、谐振压力传感器等。
感器变频器功率的选用
系统效率等于变频器效率与电动机效率的乘积，只有两者都处在较高的效率下工作时，则系统效率才较高。从效率角度出发，在选用变频器功率时，要注意以下几点：
1、变频器功率值与电动机功率值相当时Z合适，以利变频器在高的效率值下运转。
2、在变频器的功率分级与电动机功率分级不相同时，则变频器的功率要尽可能接近电动机的功率，但应略大于电动机的功率。
3、当电动机属频繁起动、制动工作或处于重载起动且较频繁工作时，可选取大一级的变频器，以利用变频器长期、安全地运行。
4、经测试，电动机实际功率确实有富余，可以考虑选用功率小于电动机功率的变频器，但要注意瞬时峰值电流是否会造成过电流保护动作。
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