几种常见压力传感器的特点 单晶硅压力传感器：宽测量范围，精度高，工作温度宽，稳定性好，静压特性，具有良好的单向受压特性。 电容式压力传感器：低的输入力和侏儒能量，高动态响应，小的自然效应，环境适应性好。 蓝宝石压力传感器：主要优点是可以测量高温介质，对温度变化不敏感。及时在高温漂在这几类传感器中。蓝宝石可以量程到160MPa，而扩散硅的量程为35MPa。 石英晶体压力传感器：高频响压力传感器，反应迅速，数字输出，具有抗干扰性强，适宜于远距离传输，消除了模拟数字转换这一复杂环节及其造成的误差。
应变式压力传感器：
应变式压力传感器主要是利用弹元件（弹性体）和应变计（电阻应变片）将被测压力转换为相应电阻值变化的压力传感器。
在了解应变式压力传感器时，我们首先认识一下电阻应变片这种元件。电阻应变片是一种将被测件上的应变变化转换成为一种电信号的敏感器件。它是压阻式应变传感器的主要组成部分之一。电阻应变片应用的是金属电阻应变片和半导体应变片两种。金属电阻应变片又有丝状应变片和金属箔状应变片两种。通常是将应变片通过特殊的粘和剂紧密的粘合在产生力学应变基体上，当基体受力发生应力变化时，电阻应变片也一起产生形变，使应变片的阻值发生改变，从而使加在电阻上的电压发生变化。这种应变片在受力时产生的阻值变化通常较小，一般这种应变片都组成应变电桥，并通过后续的仪表放大器进行放大，再传输给处理电路（通常是A/D 转换和CPU ）显示或执行机构。
高温大压力传感器研究现状
一般地，当压力范围在10～100 MPa之间时，称之为大压力，大于100 MPa的压力为超大压力。高温压力传感器是指在高于125℃环境下能正常工作的压力传感器[1]。
近年来，随着MEMS技术的发展，微机械压力传感器由于其具有体积小、功耗低、成本低等优势，而得到了广泛的应用[1,2]。然而，该类传感器在超过120℃环境下使用时，会由于内部PN结出现漏电而导致传感器性能急剧下降，进而导致失效[3,4,5,6]。因此，如何把MEMS技术的优势和现有的技术相结合，通过改进工艺、选择新型的耐高温材料，进而克服MEMS传感器的上述缺点，成为目前国内外研究的重中之重。该研究目前也取得了巨大进展，多种类型材料组合形成的新型敏感元件纷纷问世。
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